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为中国“芯”注入科技力量——记中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员张宝顺

  中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台主任、研究员,曾先后担任科技部“光电子与微电子器件与集成”重点研究计划专家组成员、国家科技进步奖评审专家,长期从事半导体材料生长和器件加工工艺研究。

  作为关键核心技术,芯片被誉为一个国家的“工业粮草”,是整机设备的“心脏”,芯片技术也从某种程度代表了一个国家的信息技术水平。

  中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所(以下简称苏州纳米所)研究员张宝顺深知这颗“心脏”的重要。于是,他积极投身相关领域研究,为中国“芯”注入科技力量。

  忘我拼搏,打造科研“新硅谷”

  近年来,中国电子信息产业整体规模高速发展,但关键核心技术受制于人的局面没有得到根本性改变,“卡脖子”问题倒逼中国“芯”走上自主研发之路。

  张宝顺深知肩上使命和责任的分量,2006年,他受邀加入苏州纳米所,从零起步,投身纳米加工平台建设。

  “我们平台的使命,就是跟众多企业、研究院所合作,大家共同努力,把核心的芯片国产化,并实现自主可控,减少我们对国外的依赖。”张宝顺说。

  筹建之初,张宝顺带着团队,以“5+2”“白加黑”“非常6+1”的拼搏精神,亲自动手搭建、研发仪器设备,从方案设计到全线贯通,每个环节都紧密跟进、严格把控。

  2009年1月,在张宝顺团队的努力下,纳米加工平台正式对外开放,全面投入运行,并迅速成长为科研院所及中小企业创新孵化的摇篮,架起了科学研究与市场需求的桥梁。

  10余年来,张宝顺扎根苏州工业园区,负责建设和运行纳米加工平台。他带领团队建成了全面开放的集纳米加工、工艺测试、器件封装于一体的国内最大多功能公共服务平台。该平台现有超净间面积10000平方米,包含6英寸MEMS、GaN基、SiC基和GaAs基芯片加工线及我国第一条8英寸面向5G应用的氮化铝滤波器工艺线。

  该平台完备的软硬件技术支撑体系和独具特色的高水平技术服务,吸引集聚了一大批创业领军人才和高新技术企业落户园区,增强了周边企业自主创新能力,提升了园区纳米技术产业整体发展环境,助力园区形成了科技“新硅谷”。

  目前,该平台每年支持数百家企业进行创新产品开发,合作的高校研究院所团队近200个,为企业产品研发及转型升级、国家和地方重大科研任务完成提供了坚实的技术支撑。其中客户之一的苏州敏芯微电子技术有限公司,在该平台协助下突破了多项关键技术工艺研发,解决了CMOS电路与MEMS芯片进行单一芯片集成的关键技术难题。

  苦练内功,实现微纳芯片新突破

  关键核心技术攻关,还是要在关键领域基础研究上下功夫。

  多年来,张宝顺承担了国家“973”课题、国家自然科学基金委员会重大计划、江苏省产学研联合创新等科研项目数十项。他参与的国家级重点项目“半导体激光泵浦固体激光器”2000年获国家科技进步奖三等奖;带领团队率先在国内研制出基于相干布居数囚禁原理(CPT)的低功耗物理系统芯片,基于该成果合作开发了我国第一个芯片原子钟样机,打破了美国的技术垄断;开发了基于氢等离子体钝化的增强型氮化镓电力电子器件,在此方面工作处于国际先进水平;团队成果“面向未来的GaN基HEMTs高频开关器件研制与应用”在2018年第一届“率先杯”未来技术创新大赛中获最高奖项。

  一项项成果和奖项的背后是张宝顺和团队日夜的奋斗。

  有一次张宝顺到北京出差,在火车上突然眼睛看不见了,到医院检查后发现是视网膜出血导致的暂时失明。

  然而由于工作太忙,张宝顺的眼疾一直拖了几个月才做了手术。医生叮嘱,术后最好不用电脑、不看手机,可放心不下工作的张宝顺,复工后,仍是一天未休。

  不断超越,推动关键技术人才培养

  在张宝顺看来,创新人才是第一资源,谁拥有了一流创新人才,谁就能在科技创新中占据优势。

  然而,半导体行业人才严重缺乏,对此张宝顺深有感触:“我们都是打着灯笼在全国甚至全球去找,才组建了现在100多人的大团队,这是我们最宝贵的资源。”

  为打造纳米技术人才培训高地,纳米加工平台积极响应区域产业发展对人才的新要求,主动对接地方政府和企业,承担了一系列高技能培训项目和企业紧缺人才培训项目,连续举办高技能人才职业技能竞赛,推动关键技术人才的培养和储备。

  迄今为止,张宝顺已经培养了一支160余人的包括项目研发、工艺技术开发、技术培训、平台运行管理,以及设备开发、维修维护人员在内的专业人才队伍。其中,从应届毕业生成长为“中科院关键技术人才”“苏州市劳动模范”“苏州市青年岗位能手”或“苏州工业园区高技能领军人才”的团队成员逾50人。

  “以科技助力中国芯”,通过纳米加工平台一流的对外技术服务,更好地发挥国家战略科技力量的科技引领作用,促进核心芯片国产化、设备国产化,实现自主可控,尽早摆脱对国外的依赖,这就是张宝顺奋力书写的新时代答卷。

  (作者:王英,系中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所)