化学机械研磨之研磨头及其制作方法（机床工具）

   一种化学机械研磨之研磨头，包含有一薄膜支撑座与一薄膜。薄膜支撑座系为碟片形，具有一圆心与一半径R。薄膜支撑座具有至少一通气孔位於与圆心距离(2/3)R以内之中央区内，与至少一导流开口位於距圆心(2/3)R至R之周边区之内。薄膜包含有一碟片形主体部设置於薄膜支撑座之第一表面，以及一环状包覆部包覆薄膜支撑座之环侧壁。专利号：I322062。